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有源電力濾波裝置在單晶爐中的應(yīng)用

日期:2025-05-12 07:42
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摘要:

硅制造工藝的核心設(shè)備是單晶爐,而單晶硅的生產(chǎn)工藝分熔融加熱和直流加熱,熔融加熱多采用中頻加熱爐,直拉式單晶多采用直流加熱爐。無論是中頻爐還是直流爐加熱,均采用半導(dǎo)體可控整流方式,它們本身工作過程中會產(chǎn)生非常大量電流諧波,對電網(wǎng)造成諧波污染,這些諧波使得精密儀器精度失準(zhǔn)甚至誤動作,破壞了系統(tǒng)的無功補償,造成系統(tǒng)供電損耗的增加及損壞補償電容器等,對于單晶硅復(fù)雜的生產(chǎn)過程以及后期的精密加工流程都造成非常大的影響。因此,電能質(zhì)量間接決定著單晶硅成品材料的品質(zhì),幾乎所有的單晶硅制造生產(chǎn)線都面臨諧波污染問題,用戶必須對其進行諧波治理

某光伏組件硅片生產(chǎn)廠家的單晶爐運行時,大量的中頻爐以及部分大功率開關(guān)電源在工作過程中產(chǎn)生了大量的諧波電流,同時由于低壓母線端的無功集中補償參數(shù)及選型的不匹配,造成諧波放大及電壓和功率因數(shù)的振蕩,嚴(yán)重影響產(chǎn)品合格率。

諧波治理措施

在變壓器的二次側(cè)進行集中諧波治理,安裝了1KYYLB0.4-150/3有源電力濾波裝置。4#變壓器配電系中,在單晶硅爐的輸入側(cè)進行就地諧波治理,安裝了1KYYLB0.4-200/3有源電力濾波裝置。本次方案根據(jù)不同的諧波源和配電系統(tǒng)特點,采用就地諧波治理和集中諧波治理結(jié)合的綜合治理。諧波治理后諧波含量大量減少,**符合國家標(biāo)準(zhǔn),電流總畸變率由29.7%下降到了2.2%,有效地處理了其產(chǎn)生的諧波污染,凈化完善了其配電系統(tǒng),提高了電能質(zhì)量,為單晶硅爐提供了純凈穩(wěn)定可靠的電源。

 

單晶硅爐加熱電源是一種大功率電源,其輸出的能量可直接為單晶爐內(nèi)的石墨加熱器供電,根據(jù)單晶爐生產(chǎn)工藝的要求,控溫精度要求控制在±0.5℃(要求高的為±0.1℃)以內(nèi)。目前比較主流的加熱電源主要是可控硅電源——可控硅整流和晶閘管調(diào)功器。其產(chǎn)生的諧波致使電壓電流的波動率較大,從而使整個溫控系統(tǒng)精度下降,嚴(yán)重影響爐內(nèi)恒溫,從而影響晶體的生產(chǎn),造成較高的次品率。應(yīng)用KYYLB0.4-200/3有源電力濾波裝置對單晶爐加熱電源諧波治理,提高電源電流輸出精度,提高溫度控制的準(zhǔn)確度,滿足單晶/多晶在生產(chǎn)階段對溫度的嚴(yán)格要求,從而降低廢品率、提高產(chǎn)量和提高質(zhì)量。

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